Статья: Анализ механизмов темновых токов матриц ультрафиолетовых фотодиодов на основе гетероструктур AlGaN (2018)

Читать онлайн

Созданы и исследованы матрицы ультрафиолетовых фотодиодов, чувствительные в ближнем ультрафиолетовом диапазоне спектра 0,2–0,4 мкм на основе гетероэпитаксиальных структур AlxGa1-xN (ГЭС AlGaN). ГЭС AlGaN выращивались методами осаждения из металлоорганических соединений (MOVPE) и молекулярно-лучевой эпитаксии (MBE) на сапфировых подложках. Для уменьшения структурных дефектов исследовалось состояние поверхности и приповерхностного слоя эпиполированных сапфировых подложек, отрабатывалась технология их финишной обработки. Матрицы ультрафиолетовых фотодиодов в структурах ГЭС AlGaN изготавливались методом ионного травления. Проведено моделирование составляющих темнового тока для фотодиодов на основе нитридов алюминиягаллия. Рассчитаны основные составляющие темнового тока, такие как генерационнорекомбинационный, шунтирующей утечки, прыжковой проводимости, Пула–Френкеля. Показана возможность достижения фотоэлектрических параметров на уровне лучших зарубежных аналогов.

The UV visible-blind and solar-blind 320256 FPAs based on the AlxGa1-xN heterostructures have been developed and investigated. AlxGa1-xN heterostructures were grown by both metal organic vapor deposition (MOCVD) and molecular beam epitaxy (MBE) on sapphire substrates. To reduce structural defects, the surface and the near-surface layer of epipolished sapphire substrates were investigated, and the technology of their finishing processing was developed. FPAs based on AlGaN heterostructures were manufactured by ion etching. Dark current components and current-voltage characteristics of AlxGa1-xN photodiodes such as: generation-recombination, shunting leakage, hopping conductivity, Pool-Frenkel have been calculated. The performance on the level of the best analogs have been shown.

Ключевые фразы: AlGaN, GaN, ультрафиолетовый спектральный диапазон, УФ, гетероэпитаксиальные структуры, p–i–n-фотодиод, ультрафиолетовый фотоприемный модуль, уфм
Автор (ы): Яковлева Наталья Ивановна, Никонов Антон Викторович, Болтарь Константин Олегович, Седнев Михаил Васильевич
Журнал: УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.383.4. Фотоэлементы с внутренним фотоэффектом. Фоторезисторы
eLIBRARY ID
32582484
Для цитирования:
ЯКОВЛЕВА Н. И., НИКОНОВ А. В., БОЛТАРЬ К., СЕДНЕВ М. В. АНАЛИЗ МЕХАНИЗМОВ ТЕМНОВЫХ ТОКОВ МАТРИЦ УЛЬТРАФИОЛЕТОВЫХ ФОТОДИОДОВ НА ОСНОВЕ ГЕТЕРОСТРУКТУР ALGAN // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2018. ТОМ 6, №1
Текстовый фрагмент статьи