Доклад: Исследование процесса плазменного осаждения нитрида кремния для МОЭМС применений
Докладчик
Соавтор(ы)
Ткаченко Алексей Вячеславович, Платонов Даниил Дмитриевич, Юркин Никита Олегович, Иванова Ольга Кирилловна, Дятлов Владимир Денисович
Тип доклада
Устный
Секция программы
Дата и время
пятница, 07 фев (начало в 14:15)
Видео запись
Видео доклада ещё не загружено.
Обсуждение доклада
Новых тем пока нет
Создайте тему для обсуждения, если у вас есть вопросы или предложения по докладу.
Другие доклады секции: 15
10:00 |
Термодинамические особенности синтеза пленок HgTe/GaAs методом молекулярно-лучевой эпитаксии
11:30 |
Перерыв
13:00 |
Обед
14:15 |
Исследование процесса плазменного осаждения нитрида кремния для МОЭМС применений
15:15 |
Перерыв (подсчёт баллов)