Книга: Термические процессы в микроэлектронике

Скачать

В книге описаны процессы изготовления полупроводниковых приборов и микросхем диффузией, планарной и элионной технологией, а также нанесения эпитаксиальных, диэлектрических и металлических пленок. Рассмотрено технологическое оборудование. Третье издание (2-е - в 1980 г. «Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве») дополнено материалом по основным термическим процессам, а также сведениями об их комплексной автоматизации.