Статья: Электронно-лучевое осаждение покрытий из циркониевой керамики форвакуумным плазменным источником электронов

Представлены результаты эксперимента по электронно-лучевому осаждению керамических покрытий оксида циркония, стабилизированного оксидом иттрия с использованием форвакуумного плазменного источника электронов. Методом растровой электронной микроскопии получены данные о морфологии и элементном анализе поверхности покрытий. Структурно-фазовый состав образцов выявил наличие кристаллической структуры синтезированных покрытий с содержанием моноклинной и тетрагональной фаз. Методом Оливера-Фарра получены значения твердости и моду-ля упругости покрытий.

Информация о документе

Формат документа
PDF
Кол-во страниц
1 страница
Загрузил(а)
Лицензия
Доступ
Всем

Информация о статье

ISSN
1996-0948
EISSN
2949-561X
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2023-5-91-96
Журнал
Прикладная физика
Год публикации
2023
Автор(ы)
Андронов А. А., Золотухин Д. Б., Назаров А. Ю., Окс Е., Рамазанов К. Н., Тюньков А. В., Юшков Ю. Г.
Каталог SCI
Физика

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.