Статья: ДИНАМИКА ПЛАЗМЫ ДВУХЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО РАЗРЯДА В СМЕСИ AR/XE

Скачать

Исследована пространственно-временная динамика плазмы симметричного двухчастотного 81 МГц/1.76 МГц емкостного разряда под действием поля низкой частоты 1.76 МГц. С помощью метода фазово-разрешенной оптической эмиссионной спектроскопии получена динамика интенсивности излучения аргона и ксенона в плазме. Выполнены измерения функции распределения электронов по энергии в центре разряда с помощью зонда Ленгмюра и измерения плотности электронов с помощью СВЧ-зонда. Основным результатом является динамика отношений интенсивности выделенных линий аргона и ксенона в зависимости от разных условий: при давлениях 40, 200 и 400 мТорр, амплитуде напряжения НЧ 100, 200 и 400 В, вложенной мощности на 81 МГц 3 Вт и 15 Вт. Исследована динамика высокоэнергичных электронов на основе двухтемпературной аппроксимации функции распределения электронов по энергии.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): БОГДАНОВА МАРИЯ
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 0579-9392
Журнал: ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. СЕРИЯ 3: ФИЗИКА. АСТРОНОМИЯ
Год публикации: 2024
Автор(ы): БОГДАНОВА М. А., ВОЛОШИН Д. Г., ГЛОТОВ А. В., ЛОПАЕВ Д. В., СЫСОЕВ Н. Н., ШИБАНОВ Д. Р.
Ключевые фразы: плазма, ЕМКОСТНЫЙ РАЗРЯД, СПЕКТРОСКОПИЯ, ЗОНД ЛЕНГМЮРА, СВЧ-ЗОНД
УДК: 533.9.07. Установки и аппаратура для изучения и создания плазмы

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.