Книга: Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Рассмотрены основные составляющие фотолитографического метода: светочувствительные материалы, собственно технология фотолитографии, применяемое современное оборудование.
Книга рассчитана на широкий круг читателей. Технологи, знакомые с фотолитографией, найдут в ней практические указания и новые сведения. Инженеров, работающих в других областях, могут заинтересовать современные возможности и перспективы развития фотолитографии.
Информация о документе
- Формат документа
- PDF, DJVU
- Кол-во страниц
- 50 страниц
- Загрузил(а)
- Лицензия
- —
- Доступ
- Всем
- Просмотров
- 13
