Статья: ФИЗИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ ПЛАНАРНОГО МАГНЕТРОНА С НАГРЕВАЕМОЙ В РАЗРЯДЕ ТЕРМОИЗОЛИРОВАННОЙ МИШЕНЬЮ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ БОРА

Представлены принцип работы и конструкция планарного магнетрона для нанесения покрытий из чистого бора. Особенностью устройства является использование термоизолированного катода-мишени из чистого кристаллического бора, нагреваемого вспомогательным слаботочным разрядом для обеспечения стабильного функционирования магнетронного разряда. Это позволяет реализовать в магнетроне как непрерывный режим работы, так и импульсный режим самораспыления, при котором в плазме разряда ионы бора превалируют над ионами рабочего газа. Другой особенностью магнетрона является использование щелевого анода специальной конструкции, обеспечивающего стабильную и длительную работу устройства при осаждении на поверхность анода неэлектропроводной пленки бора. При использовании импульсного разряда с амплитудой тока 40 А при длительности импульсов 400 мкс и частоте их повторения 25 Гц скорость нанесения покрытий из чистого бора на подложку, установленную на расстоянии 10 см от катода, была сравнима со скоростью нанесения покрытий в магнетронном разряде с постоянным током 300 мА и составляла 20-30 нм/мин.

Информация о документе

Формат документа
PDF
Кол-во страниц
1 страница
Лицензия
Доступ
Всем

Информация о статье

ISSN
0021-3411
Префикс DOI
10.17223/00213411/64/12/3
Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВУЗОВ. ФИЗИКА
Год публикации
2021
Автор(ы)
Визирь А. В., Николаев А. Г., Фролова В. П., Черкасов А. А., Шандриков М. В., Юшков Г. Ю.

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.