Статья: УСТАНОВКА ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ «КРАУДИОН-ИПО-11/2
Установка «КРАУДИОН-ИПО-11/2» предназначена для ионно-
плазменной обработки наружных поверхностей и внутренних ка-
налов корпусов из ситалла, применяемых в производстве ЭВП.
Установка «КРАУДИОН-ИПО-11/2» обеспечивает проведение
следующих технологических операций:
- загрузка изделия в камеру ионно-плазменной обработки;
- безмасляная высоковакуумная откачка вакуумной технологиче-
 ской камеры;
- напуск технологического газа/смеси газов;
- инициирование плазменного разряда и проведение техноло-
 гического процесса ионно-плазменной обработки наружных по-
 верхностей/внутренних каналов изделия в инертных газах и их
 смесях с кислородом;
- разгерметизация камеры с напуском инертного газа и выгрузка
 изделия
Информация о документе
- Формат документа
- Кол-во страниц
- 2 страницы
- Лицензия
- CC BY
- Доступ
- Всем
Информация о статье
- Каталог SCI
- Электроника
Статистика просмотров
Статистика просмотров статьи за 2025 год.
