ISSN 1996-0948 · EISSN 2949-561X
Языки: ru · en

Статья: Синтез покрытий TiN в парах Cu на сплаве Т15К6 методом гибридной плазменной технологии (2025)

Читать онлайн

Рассмотрен синтез покрытий TiN на сплаве Т15К6 в парах Cu на основе газоразрядных процессов вакуумно-дугового испарения Ti в азотсодержащей плазме и магнетронного ионно-плазменного распыления Cu. Определены технологические параметры синтеза композитных покрытий TiN-Cu: ток дугового разряда 90 А, ток и напряжение горения магнетронного разряда, соответственно, 0,5 А и 400 В, давление смеси газов в вакуум-ной камере 2,4 Па, температура ростовой поверхности 473 К, время синтеза  15 мин, время очистки ростовой поверхности подложки 10 мин, напряжение смещения 160 В. Рентгеноспектральный микроанализ структуры подтверждает содержание меди  5,57 ат.% в исследуемых покрытиях по всему профилю покрытий. Микотвердость покрытий составляет 38–42 ГПa.

The synthesis of TiN coatings in Cu vapor on T15K6 alloy based on gas-discharge processes of vacuum-arc evaporation of Ti in nitrogen-containing plasma and magnetron ion-plasma sputtering of Cu is considered. The technological parameters of the synthesis of TiN-Cu com-posite coatings are determined: arc discharge current of 90 A, current and voltage of the magnetron discharge, respectively, 0.5 A and 400 V, gas mixture pressure in the vacuum chamber of 2.4 Pa, growth surface temperature of 473 K, synthesis time of  15 min, cleaning time of the substrate growth surface of 10 min, bias voltage of 160 V. X-ray spectral microa-nalysis of the structure confirms the copper content of  5.57 at.% in the studied coatings over the entire coating profile. The microhardness of the coatings is 38–42 GPa.

Автор (ы): Семенов Александр Петрович
Соавтор (ы): Цыренов Дмитрий Бадма-Доржиевич, Улаханов Николай Сергеевич, Семенова Ирина Александровна
Журнал: Прикладная физика

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
539.234. испарением и конденсацией
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2025-2-97-102
Для цитирования:
СЕМЕНОВ А. П., ЦЫРЕНОВ Д. Б., УЛАХАНОВ Н. С., СЕМЕНОВА И. А. СИНТЕЗ ПОКРЫТИЙ TIN В ПАРАХ CU НА СПЛАВЕ Т15К6 МЕТОДОМ ГИБРИДНОЙ ПЛАЗМЕННОЙ ТЕХНОЛОГИИ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2025. №2
Текстовый фрагмент статьи