Архив статей

Исследование дефектов матричных фотоприемных устройств методами электронной микроскопии (2019)
Выпуск: Том 7, №5 (2019)
Авторы: Арич Олеся Дмитриевна, Климанов Евгений Алексеевич, Гончаров Валерий Евгеньевич, Можаева Мария Олеговна, Малыгин Владислав Анатольевич

Методами растровой электронной микроскопии проведены исследования матриц фоточувствительных элементов и мультиплексоров, используемых для изготовления инфракрасных матричных фотоприемных устройств, после нанесения на них индиевых микроконтактов. Контакты формировались двумя различными способами: классическим и экспериментальным (с одним «взрывом»). Исследования позволили выявить различные типы дефектов и причины их возникновения. Проведено сравнение двух способов изготовления микроконтактов с целью определения оптимального для повышения процента выхода годных фотоприемных устройств.

Сохранить в закладках