В пособии рассматривается совокупность четырех наиболее эффективных методов исследования органических веществ и содержатся задачи и упражнения по применению спектральных методов. Существенное место отведено примерам, в которых используется совокупность физических и химических методов определения структуры органических соединений; дано краткое теоретическое обоснование перечисленных методов исследования и большое количество задач.
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии
и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.