В учебное пособие включено описание новых технологических процессов, которые составляют основу современного производства сверхбольших интегральных схем (СБИС) и других устройств кремниевой наноэлектроники. К таким процессам относятся субмикронная литография, ионное легирование, ионное и плазмохимическое травление наноструктур, атомно-слоевое и плазмохимическое осаждение металлов и диэлектриков. Изложены технологические маршруты
формирования СБИС.
Пособие предназначено для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также может быть использовано при подготовке студентов, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника», 210600 «Нанотехнология», 222900 «Нанотехнология и микросистемная техника».
Учебное пособие будет полезно при подготовке магистров по программам «Твердотельная электроника» и «Наногетероструктурная СВЧ-электроника».
В книге описаны процессы изготовления полупроводниковых приборов и микросхем диффузией, планарной и элионной технологией, а также нанесения эпитаксиальных, диэлектрических и металлических пленок. Рассмотрено технологическое оборудование. Третье издание (2-е - в 1980 г. «Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве») дополнено материалом по основным термическим процессам, а также сведениями об их комплексной автоматизации.
В книге приводится цветовая и кодовая маркировка пассивных компонентов: резисторов, конденсаторов, катушек индуктивности, а также активных элементов в SMD-корпусах DO и SOT. Поскольку приборы в корпусе ТО-92 являются наиболее загадочными с позиции маркировки, то второе исправленное и дополненное издание включает справочный раздел отечественных транзисторов в корпусе ТО-92, стал одним из основных разделов книги и содержит более 1000 типов маркировки.
Для специалистов в области электроники, работников ремонтных и сервисных служб, широкого круга радиолюбителей и радиоинженеров.
Учебное пособие содержит сведения о физических свойствах и кристаллической решетке полупроводниковых материалов, о зонной теории, а также сведения о принципах создания и работы основных типов полупроводниковых приборов. Кратко изложена история изучения полупроводниковых материалов и этапы их практического применения. В пособии представлены также примеры применения полупроводниковых приборов в автомобилях и других устройствах автотранспортного комплекса. Учебное пособие предназначено в качестве пособия по элективному курсу для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 140400 «Электроэнергетика и электротехника», профиль подготовки «Электрооборудование автомобилей и тракторов»; 151000 «Технологические машины и оборудование», профиль «Гидравлические машины, гидроприводы и гидропневмоавтоматика»; 190110 «Транспортные средства специального назначения», специализация № 1 «Военные гусеничные и колесные машины», специализация № 2 «Наземные транспортные комплексы ракетной техники».
Книга ведущих специалистов из многих стран охватывает широкий круг вопросов, отражающих современное состояние проектирования и технологии изготовления полевых транзисторов на арсениде галлия, а также интегральных схем на их основе.
Приведены сведения об основных электрических параметрах, предельных значениях допустимых режимов работы и характеристиках биполярных и полевых транзисторов широкого применения.
Даны классификация, система обозначений приборов, а также сведения об их назначении, маркировке и корпусах.
Для широкого круга специалистов и радиолюбителей, занимающихся разработкой, эксплуатацией и ремонтом радиоэлектронной аппаратуры.
Рассмотрены режимы работы диодов и тиристоров, разработана методика их выбора для применения в системах преобразовательных установок (устройств). Описаны методы обеспечения надежной работы диодов и тиристоров. Приведены примеры расчетов.
Для специалистов, занимающихся разработкой, проектированием и эксплуатацией полупроводниковых преобразовательных устройств.
